SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯特征

沿濾液方向的梯度孔徑分布，保證拋光漿料的品質(zhì)，并延長漿料的使用壽命。

所有濾芯兼容性極佳，無論是酸性還是堿性漿料，均可過濾。

漏斗狀的過濾結構，對可能造成晶片表面?zhèn)Φ膱F狀顆粒敏感。

為CMP流程提供嚴格的質(zhì)量保證。

去除漿料中的大粒徑離子及成團的異質(zhì)顆粒，提高晶片的成品率。

過濾面積大，高過濾效率。

熱熔法密封結構，密封性良好。

輝龍過濾的全面質(zhì)量管理體系保證濾芯品質(zhì)。

濾芯沿濾液方向的梯度孔徑分布結構，適合各種不同的拋光漿料，應用范圍廣。

通用性好，適合各種標準或者類似的壓力容器過濾器。